双级旋片式真空泵其核心结构由多个关键部件组成

　　双级旋片式真空泵是一种高效、精密的容积式真空设备，通过两级串联的旋片结构实现气体分级压缩与抽排，广泛应用于真空镀膜、电子半导体、食品包装、化工制药等领域。其核心优势在于通过双级压缩显著提升极限真空度（可达≤6×10⁻²Pa），同时降低单级负荷，延长使用寿命。

　　该泵由泵体、转子、旋片、端盖及弹簧等部件构成。转子偏心安装于泵腔内，其槽中嵌有两片可滑动的旋片，弹簧使旋片顶端始终紧贴泵腔内壁。运转时，转子旋转带动旋片滑动，将泵腔分隔为高级（高真空级）和低级（低真空级）两个工作腔。气体从进气口进入高级腔，经压缩后部分直接排出，部分通过级间通道进入低级腔二次压缩，最终从低级排气阀排出。这种分级压缩设计使双级泵的压缩比远高于单级泵，从而获得更深的真空。

　　双级旋片式真空泵其核心结构由多个关键部件组成。以下是其主要组成部分及功能解析：

　　1、泵体

　　作用：作为整个装置的外壳和主体框架，容纳其他内部组件并形成密闭的工作腔室。

　　特点：通常采用黑色金属制造，具有较高的精密度和耐腐蚀性。

　　2、转子

　　安装方式：偏心地安装在泵腔内，其外圆与泵体内壁保持微小间隙。

　　功能：通过旋转带动旋片运动，实现气体的吸入、压缩和排出循环。

　　3、旋片

　　数量与结构：一般为两块，嵌于转子槽中，依靠弹簧张力和离心力紧贴泵腔内壁。

　　工作原理：将定子分隔为高、低两个工作腔（即高级腔和低级腔），通过容积变化完成抽气过程。当转子转动时，旋片随动滑动，使一侧容积扩大吸气，另一侧缩小排气。

　　4、端盖

　　位置与用途：位于泵体的两端，用于封闭系统并支撑相关部件。

　　密封性：确保各连接处的气密性，防止泄漏影响真空效果。

　　5、弹簧

　　作用机制：置于两旋片之间，提供持续的压力以维持旋片与泵壁的良好接触。结合离心力共同保证运行稳定性。

　　6、排气阀与辅助装置

　　排气通道：包括主排气阀和辅助排气阀，用于控制不同压力下的气体排放路径。例如，在吸入压强较高时，部分气体直接从辅助阀排出；低压时则通过级间通道进入低级腔再压缩后排出。

　　气镇装置（可选）：允许抽除少量可凝性蒸气（如水蒸气），增强设备的适应性。

　　7、过滤与分离系统

　　粗过滤器：吸气口处设有金属丝网，阻挡固体颗粒进入泵内。

　　油分离器：内置高效油气分离器及排气过渡器，减少油雾污染并回收润滑油。

　　8、冷却系统（部分型号配备）

　　水冷设计：某些大型或高性能机型采用泵壳内通冷却水的方式降低温度，提升极限真空度和运行效率。